Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

2003.10a
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Pages.63.2-63
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2003

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)

권호 표지

Chemical Vapor Deposition of Poly-Si Thin Films by Hot Filament CVD

열 필라멘트법에 의한 다결정 실리콘 박막의 화학 기상 증착

신승도 (서울대학교 재료공학부) ;
황농문 (서울대학교 재료공학부) ;
김도연 (서울대학교 재료공학부)

Published : 2003.10.17

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Abstract

Keywords