질소 함유 다이아몬드상 카본의 열처리 효과

The Effect of Thermal Annealing of the Nitrogenated Diamond-like Carbon Films

  • 최봉근 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 이현우 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 양원재 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 오근호 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터) ;
  • 심광보 (한양대학교 세라믹공학과 세라믹공정연구센터)
  • 발행 : 2003.10.17