Gas Sensor Application of Piezoelectric Microcantilever

압전 마이크로 칸티레버의 Gas Sensensor 응용

  • 신상훈 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 송상근 (성균관대학교 나노과학공학과) ;
  • 백준규 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 박효덕 (전자부품 연구원(KETI)) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2003.10.17