한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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- Pages.34.2-34.2
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- 2003
DC Magnetron Sputter로 증착한 $(HfO_2)_{1-x}(Al_2O_3)_x$ 박막의 열처리에 따른 물리적, 전기적 특성 연구
Thermal Stability of $(HfO_2)_{1-x}(Al_2O_3)_x$ Thin Films by DC Magnetron Sputtering
- 발행 : 2003.10.17