Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2003.10a
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- Pages.32.2-32
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- 2003
Effects of UV Radiation on the Atomic Layer Deposition of $Al_2O_3$ Thin Films
자외선 조사가 $Al_2O_3$ 박막의 단원자 증착 공정에 미치는 영향
- Published : 2003.10.17
Abstract
Keywords