Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

A Characteristics of $HfO_2$ Gate Dielectric Grown by ALD

ALD로 증착한 $HfO_2$ 게이트 유전막의 특성 연구

  • 김용석 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이동원 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 서동찬 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 홍영의 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2003.10.17
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Abstract

Keywords