Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2003.04a
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- Pages.188.1-188
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- 2003
Characteristics of Silica Platform with Silicon Oxide Treatment for Hybrid Intergrated Optical Module
실리콘 산화물 공정이 실리카 플랫폼의 특성에 미치는 영향
- Published : 2003.04.18
Abstract
Keywords