Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2003.04a
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- Pages.156.2-156
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- 2003
Effect of $CeO_2$ Abrasive Particles on Planarization in STI CMP
STI CMP에서 평탄화에 미치는 $CeO_2$ 연마입자 효과
- Published : 2003.04.18
Abstract
Keywords