Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2003.04a
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- Pages.146.1-146
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- 2003
Nano-structural and Optical Features of nc-Si Films Grwon by RF Magnetron Sputter
고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조된 nc-Si 박막의 구조적, 과학적 특성
Abstract
Keywords