Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Crystallization of Silicon Films by Cu-field Aided Lateral Crystallization and Pulsed Rapid Thermal Annealing

Cu-전계 유도 방향성 결정화와 급속 열처리법을 이용한 실리콘 박막의 결정화

  • 김영배 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 강문수 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2003.04.18
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