Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2003.04a
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- Pages.50.2-50
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- 2003
Crystallization of Silicon Films by Cu-field Aided Lateral Crystallization and Pulsed Rapid Thermal Annealing
Cu-전계 유도 방향성 결정화와 급속 열처리법을 이용한 실리콘 박막의 결정화
- Published : 2003.04.18
Abstract
Keywords