Si 기판 위에 성장된 에피텍셜 BST 박막의 구조분석

Study of Structure of Epitaxial $(Ba_{0.5},Sr_{0.5})TiO_3$ Films Grown on Si

  • 윤경선 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 전성진 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2003.04.18