Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2003.02a
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Pages.193-193
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2003

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Analysis of the growth behavior of ultrathin Cu films by using in-situ impedance spectroscopy

박상윤 (한양대학교 물리학과) ;
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홍진표 (한양대학교 물리학과) ;
이영백 (한양대학교 물리학과) ;
이주열 (호서대학교 물리학과)

Published : 2003.02.14

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Abstract

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