Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.02a
- /
- Pages.145-145
- /
- 2003
성장 온도 및 성장 압력에 따른 (Ba,Sr)$TiO_{3}$ 박막의 증착 거동
- Gwon, Hyeon-Gu ;
- Kim, Hyeon-Suk ;
- Park, Jeong-U ;
- O, Yeong-U ;
- Jeong, Taek-Mo ;
- Lee, Yeong-Guk ;
- Kim, Chang-Gyun ;
- Kim, Yun-Su
- 권현구 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
- 김현숙 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
- 박정우 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
- 오영우 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
- 정택모 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
- 이영국 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
- 김창균 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실) ;
- 김윤수 (한국화학연구원 화학소재연구부 박막재료연구실)
- Published : 2003.02.14
Abstract
Keywords