Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.02a
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- Pages.119-119
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- 2003
Plasma Doping법과 RTP/ELA법을 사용한 Ultra-thin Strained-SOI의 도핑 활성화와 이 방법을 적용한 MOSFET 제작
- Maeng, Seong-Ryeol ;
- Gang, Tae-Ung ;
- Jo, Won-Ju ;
- Im, Gi-Ju ;
- Jang, Mun-Gyu ;
- Yang, Jong-Heon ;
- Lee, Seong-Jae ;
- Park, Gyeong-Wan
- 맹성렬 (한국전자통신연구원) ;
- 강태웅 (한국전자통신연구원) ;
- 조원주 (한국전자통신연구원) ;
- 임기주 (한국전자통신연구원) ;
- 장문규 (한국전자통신연구원) ;
- 양종헌 (한국전자통신연구원) ;
- 이성재 (한국전자통신연구원) ;
- 박경완 (서울시립대학교 나노전자과)
- Published : 2003.02.14
Abstract
Keywords