한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2003년도 제24회 학술발표회 초록집
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- Pages.118-118
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- 2003
Catalytic Effects of Ar addition for High-rate Dry etching of Ga-based compound semiconductors in High-Density Planar Inductively Coupled BCl3/Ar Plasmas
- 이제원 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 임완태 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
- 백인규 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
- 정필구 (인제대학교 광대역정보통신학과) ;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부/나노기술응용연구소) ;
- 이주인 (한국표준과학 연구원 나노표면그룹) ;
- 조국산 ((주)클라이오텍) ;
- Lee, Je-Won ;
- Im, Wan-Tae ;
- Baek, In-Gyu ;
- Jeong, Pil-Gu ;
- Jo, Gwan-Sik ;
- Lee, Ju-In ;
- Jo, Guk-San ;
- Pearton, S.J. (Department of Materials Sci. and Eng., University of Florida)
- 발행 : 2003.02.14