Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.02a
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- Pages.86-86
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- 2003
Formation of nanoscale SiNx islands by using the ionized N2 gas on the silicon substrate of different surface orientation
- Go, Chang-Hun ;
- Jeong, Min-Cheol ;
- Han, Mun-Seop ;
- Ham, Cheol-Yeong ;
- Jeon, Seung-Ho ;
- Park, Gyeong-Wan ;
- Park, Yong-Ju
- 고창훈 (서울시립대학교 물리학과) ;
- 정민철 (서울시립대학교 물리학과) ;
- 한문섭 (서울시립대학교 물리학과) ;
- 함철영 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 전승호 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 박경완 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 박용주 (한국과학기술원 나노소자연구센터)
- Published : 2003.02.14
Abstract
Keywords