Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.08a
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- Pages.206-206
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- 2003
자장 인가된 $SF_6$ 계 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구
- Published : 2003.08.20
Abstract
Keywords