플라스마 컷오프 탐침을 이용한 전자밀도의 절대값 측정

  • 최상철 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 김정형 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • 발행 : 2003.08.20