Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.08a
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- Pages.196-196
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- 2003
TMOS/$O_2/N_2(N_2O)$ ICP-CVD법을 이용한 SION 증착에 관한 연구
- Published : 2003.08.20
Abstract
Keywords