TMOS/$O_2/N_2(N_2O)$ ICP-CVD법을 이용한 SION 증착에 관한 연구

• Gang, Myeong-Seok ;
• Jeong, Cheol-Jin ;
• Kim, Seon-Ja ;
• Jeong, Tae-Hun ;
• Kim, Yong

• 강명석 (동아대학교) ;
• 정철진 (동아대학교) ;
• 김선자 (동아대학교) ;
• 정태훈 (동아대학교) ;
• 김용 (동아대학교)

• Published : 2003.08.20

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