한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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- Pages.191-191
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- 2003
Chemical Mechanical Polishing 공정 원자단위 모델링 연구
- 강정원 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
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송기오
(중앙대학교 전자전기공학부) ;
- 최원영 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
- 변기량 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
- 이준하 (상명대학교 컴퓨터정보통신공학부) ;
- 권오근 (세명대학교 인터넷정보학부) ;
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황호정
(중앙대학교 전자전기공학부)
- Gang, Jeong-Won ;
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Song, Gi-O
;
- Choe, Won-Yeong ;
- Byeon, Gi-Ryang ;
- Lee, Jun-Ha ;
- Gwon, O-Geun ;
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Hwang, Ho-Jeong
- 발행 : 2003.08.20