Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.08a
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- Pages.191-191
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- 2003
Chemical Mechanical Polishing 공정 원자단위 모델링 연구
- Gang, Jeong-Won ;
-
Song, Gi-O
;
- Choe, Won-Yeong ;
- Byeon, Gi-Ryang ;
- Lee, Jun-Ha ;
- Gwon, O-Geun ;
-
Hwang, Ho-Jeong
- 강정원 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
-
송기오
(중앙대학교 전자전기공학부)
;
- 최원영 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
- 변기량 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
- 이준하 (상명대학교 컴퓨터정보통신공학부) ;
- 권오근 (세명대학교 인터넷정보학부) ;
-
황호정
(중앙대학교 전자전기공학부)
- Published : 2003.08.20
Abstract
Keywords