Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.08a
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- Pages.183-183
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- 2003
투과형 LCD mask를 이용한 실시간 Lithography
- Pi, Seong-Hun ;
- Jang, Yu-Jin ;
- An, Seung-Eon ;
- Gang, Byeong-Hyeon ;
- Kim, Gang-Hyeon ;
- Park, Byeong-Ho ;
- Kim, Nam-Hui ;
- Yeom, Min-Su ;
- Seong, Man-Yeong ;
-
Kim, Gyu-Tae
- 피성훈 (고려대학교 전기공학과) ;
- 장유진 (고려대학교 전기공학과) ;
- 안승언 (고려대학교 전기공학과) ;
- 강병현 (고려대학교 전기공학과) ;
- 김강현 (고려대학교 전기공학과) ;
- 박병호 (고려대학교 전기공학과) ;
- 김남희 (고려대학교 전기공학과) ;
- 염민수 (고려대학교 전기공학과) ;
- 성만영 (고려대학교 전기공학과) ;
-
김규태
(고려대학교 전기공학과)
- Published : 2003.08.20
Abstract
Keywords