한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

고온 RTCVD법을 이용한 나노결정 Si/$SiO_2$ 초격자 형성

  • 강정현 (동아대학교 신소재물리학과) ;
  • 정혜정 (동아대학교 신소재물리학과) ;
  • 김영대 (동아대학교 신소재물리학과) ;
  • 김재권 (동아대학교 신소재물리학과) ;
  • 차규만 (동아대학교 신소재물리학과) ;
  • 김용 (동아대학교 신소재물리학과)
  • 발행 : 2003.08.20
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