Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.08a
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- Pages.148-148
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- 2003
UBM 스퍼터링을 이용한 생체전극용 백금 코팅
- Jeong, Jae-In ;
- Kim, Jin-Ui ;
- Kim, Hong-Bae ;
- Lee, Hun ;
- An, Se-Yeong ;
- Im, Tae-Gyun ;
- Choe, Yong-Seon
- 정재인 (포항산업과학연구원 센서 시스템 연구팀) ;
- 김진의 (포항산업과학연구원 센서 시스템 연구팀) ;
- 김홍배 (( 주)솔고바이오메디칼 의공학연구소) ;
- 이훈 (( 주)솔고바이오메디칼 의공학연구소) ;
- 안세영 (( 주)솔고바이오메디칼 의공학연구소) ;
- 임태균 ((주)아벡테크) ;
- 최용선 ((주)아벡테크)
- Published : 2003.08.20
Abstract
Keywords