한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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- 2003
($C_4F_8$ 과 $Si_2H_6/He$ 을 전구체로 사용하여 PECVD로 성장시킨 비정질 불화탄소막의 제조 및 특성)
- 발행 : 2003.08.20