Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

($C_4F_8$과 $Si_2H_6/He$을 전구체로 사용하여 PECVD로 성장시킨 비정질 불화탄소막의 제조 및 특성)

  • 김호운 (경북대학교 전자공학과) ;
  • 신장규 (경북대학교 전자공학과) ;
  • 권대혁 (경일대학교 전자정보공학과)
  • Published : 2003.08.20
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