한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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- Pages.109-109
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- 2003
Multibeam Optical Stress Sensor를 이용한 에피층 성장의 실시간 응력관찰
- 김병주 (서울대학교 재료공학부) ;
- 장진보 (서울대학교 재료공학부) ;
- 황희돈 (서울대학교 재료공학부) ;
- 박광민 (서울대학교 재료공학부) ;
- 이학선 (서울대학교 재료공학부) ;
- 기봉 (주식회사 나노트론) ;
- 윤의준 (서울대학교 재료공학부)
- Kim, Byeong-Ju ;
- Jang, Jin-Bo ;
- Hwang, Hui-Don ;
- Park, Gwang-Min ;
- Lee, Hak-Seon ;
- Gi, Bong ;
- Yun, Ui-Jun
- 발행 : 2003.08.20