Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.08a
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- Pages.62-62
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- 2003
잔류기체분석기 특성평가장치 개발
- Hong, Seung-Su ;
- Im, Jong-Yeon ;
- Im, In-Tae ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Jeong, Gwang-Hwa ;
- Arakawa, I. (Department of Physics, Gakushuin University)
- 홍승수 (한국표준과학연구원 물리표준부) ;
- 임종연 (한국표준과학연구원 물리표준부) ;
- 임인태 (한국표준과학연구원 물리표준부) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 물리표준부) ;
- 정광화 (한국표준과학연구원 물리표준부) ;
- Published : 2003.08.20
Abstract
Keywords