AC 구동에 의한 피라니게이지의 감도향상

  • 김동환 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 성대진 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • 발행 : 2003.08.20