Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2003.04a
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- Pages.140-142
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- 2003
Effect of ZnO buffer layer on the property of ZnO thin film on $Al_{2}O_{3}$ substrate
사파이어 기판 위에 증착된 ZnO 박막 특성에 대한 ZnO 버퍼층의 영향
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Kim, Jae-Won
(Yonsei Uni.) ;
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Kang, Jeong-Seok
(Yonsei Uni.) ;
- Kang, Hong-Seong (Yonsei Uni.) ;
- Lee, Sang-Yeol (Yonsei Uni.)
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김재원
(연세대학교 전기전자공학과 정보소자 및 소재응용 연구실) ;
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강정석
(연세대학교 전기전자공학과 정보소자 및 소재응용 연구실) ;
- 강홍성 (연세대학교 전기전자공학과 정보소자 및 소재응용 연구실) ;
- 이상렬 (연세대학교 전기전자공학과 정보소자 및 소재응용 연구실)
- Published : 2003.04.19
Abstract
ZnO thin films are demanded for device applications, so ZnO buffer layer was used to improve for good properties of ZnO thin film. In this study, the structural, electrical and optical properties of ZnO thin films deposited with various buffer thickness was investigated by X-ray diffraction (XRD), Hall measurements, Photoluminescence(PL). ZnO buffer layer and ZnO thin films on sapphire(