반도체 물류 제어를 위한 dispatching logic 개발

  • 발행 : 2003.05.01

초록

본 논문은 유사한 기능을 가지는 동종의 장비들이 그룹을 형성하고 있는 반도체 제조라인에서 설비의 현재 및 미래 정보를 이용하여 실시간 dispatching을 수행하는 핵심 logic들을 개발하고 그 효과를 보인다. 이때 반송 장비의 가용성 및 미래의 계획 정보도 함께 고려한다.

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