Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2003.11a
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- Pages.435-438
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- 2003
Effects of Vacuum Annealing on the Electrical Properties of Sputtered Vanadium Oxide Thin Films
스퍼터된 바나듐 산화막의 전기적 특성에 미치는 진공 어닐링의 효과
- Hwang, In-Soo (Kongju National Univ.) ;
- Lee, Seung-Chul (Kongju National Univ.) ;
- Choi, Bok-Gil (Kongju National Univ.) ;
- Choi, Chang-Kyu (Seoul National Univ. of Technology) ;
- Kim, Nam-Chul (Kongju National Univ.)
- 황인수 (공주대학교 정보통신공학부) ;
- 이승철 (공주대학교 정보통신공학부) ;
- 최복길 (공주대학교 정보통신공학부) ;
- 최창규 (서울산업대학교 전기공학과) ;
- 김남철 (공주대학교 신소재공학부)
- Published : 2003.11.13
Abstract
The effects of oxygen partial pressure and vacuum annealing on the electrical properties of sputtered vanadium oxide(