한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2
- /
- Pages.779-782
- /
- 2003
전처리 조건에 따른 탄소나노튜브의 성장 특성
The growing characteristic carbon nanotubes depending on their pretreatment condition
- Jung, Kyung-Ho (School of information and communication Engineering, Sungkyunkwan Univ.) ;
- Hong, Byung-You (Center for Advanced plasma Surface Technology, Sungkyunkwan Univ.)
- 발행 : 2003.07.10
초록
Hot filament 플라즈마 화학기상 증착법 (HFPECVD)를 사용하여 전처리 조건에 따른 탄소나노튜브의 성장 특성을 관찰하였다. 암모니아 (