Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2003.07b
- /
- Pages.779-782
- /
- 2003
The growing characteristic carbon nanotubes depending on their pretreatment condition
전처리 조건에 따른 탄소나노튜브의 성장 특성
- Jung, Kyung-Ho (School of information and communication Engineering, Sungkyunkwan Univ.) ;
- Hong, Byung-You (Center for Advanced plasma Surface Technology, Sungkyunkwan Univ.)
- Published : 2003.07.10
Abstract
Hot filament 플라즈마 화학기상 증착법 (HFPECVD)를 사용하여 전처리 조건에 따른 탄소나노튜브의 성장 특성을 관찰하였다. 암모니아 (