Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2003.07a
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- Pages.233-236
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- 2003
Micro-Hydrogen Reactor by MEMS Technology for Fuel Cells
MEMS 기술을 이용한 연료전지용 마이크로 수소 발생기
- Na, Kyoung-Won (SAIT) ;
- Seo, Young-Gyo (KOREA UNIV.) ;
- Sung, Man-Young (KOREA UNIV.)
- Published : 2003.07.10
Abstract
수소 가스발생을 위한 마이크로 수소 발생기 개발에서 MEMS 공정을 이용하여 기판에 반응 유로를 위해 HAR(High Aspect Ratio) 구조물을 형성하고 Ru(ruthenium) 박막을 증착하여 수소 발생량을 측정하였다. Pyrex glass 기판상에 sand blast 방법으로 반응 구조물을 만들었으며, 그 위에 sputter system을 이용하여 Ru 박막을