Analysis of micro positioning actuator

마이크로 위치 제어용 엑츄에이터 해석

소형화, 정밀화 되어 가는 산업 추세에 의해 정밀 위치 제어용 엑츄에이터가 요구 되어지고 있다. 이로 인해 생산 및 유지비용이 적은 소형화된 마이크로 위치제어용 엑츄에이터를 개발하였다. 이 엑츄에이터의 설계를 위해서는 해석 기법이 요구되어진다. 그래서 엑츄에이터의 해석 방법을 정식화 하였고, 이를 이용한 해석을 통해 설계를 하였으며 제작을 하였다. 해석방법은 3차원 유한 요소법을 이용하였고, 이를 이용해 소형 마이크로 위치제어용 엑츄에이터의 특성을 해석하였으며, 그 결과는 제작된 엑츄에이터의 실험을 통해 검증되었다. 이 엑츄에이터는 적층 된 압전 세라믹과 두개의 전자석으로 구성되어 있으며, 적층된 압전 세라믹에 의한 변위와 두개의 전자석의 동기화된 동작에 의해 작동이 된다.