Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)
- 2003.12a
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- Pages.64-67
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- 2003
Nano-level Device 제조를 위한 신 메탈 전극 세정에 관한 연구
Abstract
본 연구는 nano-level 디바이스 제조를 위한 새로운 금속 전극인 W 과 Ti metal 표면 세정에 관한 연구이다. 기존
Keywords