Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Generation of illumination pattern by IFTA method

IFTA 방법을 이용한 조명 패턴 생성

  • 김성규 (한국과학기술연구원 영상미디어센터) ;
  • 손정영 (한양대학교 전기정보통신기술연구) ;
  • 남동석 (삼성전자 반도체연구) ;
  • 한우성 (삼성전자 반도체연구) ;
  • 이호찬 (서울대학교 물리학) ;
  • 이재형 (서울대학교 물리학) ;
  • 김재순 (서울대학교 물리학부)
  • Published : 2003.07.01
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Abstract

반도체 공정에서 위상 소자를 적용하는데 있어, 그 위상항을 ITFA 방법을 적용하여 계산하였고 계산된 위상 소자에 따른 광출력 회절효율을 계산하였다. 이러한 회절 효율의 계산은 출력 평면 내에만 해당되는 것이고, 이외의 영역으로 출력이 소실되는 경우를 고려하지 않았다. 또한, 위상항의 양자화 깊이의 변화에 대하여 입력광이 위상소자를 지난 후의 광출력 효율에 대하여 계산하였다.

Keywords