한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)
- 한국광학회 2003년도 하계학술발표회
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- Pages.230-231
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- 2003
SOI 제작을 위한 수소 이온 주입 특성
Characteristics of Hydrogen Ion Implantation for SOI Fabrication
초록
SOI (Silicon On insulator)는 SiO
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