Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Trace Analysis of Water Vapor by Using Diode Laser Absorption Spectroscopy

다이오드레이저 흡수분광 방법을 이용한 수증기 미량 분석

  • 김택수 (한국원자력연구소 양자광학기술개발부) ;
  • 김복실 (충남대학교 물리학) ;
  • 박상언 (한국원자력연구소 양자광학기술개발) ;
  • 정의창 (한국원자력연구소 양자광학기술개발) ;
  • 정도영 (한국원자력연구소 양자광학기술개발부)
  • Published : 2003.07.01
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Abstract

진공 환경 및 가스에 함유된 미량의 수증기를 정량적으로 분석할 수 있는 계측기는 각종 산업 분야에서 그 필요성이 절실하다. 몇 가지 예를 들면 다음과 같다. 전구 속에 함유된 수증기로 인해 야기되는 텅스텐 필라멘트의 산화현상은 전구의 수명을 현저히 감소시킨다. 밀봉된 금속 전기소자 표면에 흡착된 수증기를 통해 누전 현상이 발생함으로써 소자가 비정상적으로 동작될 우려가 있다. 반도체 산업분야에서는 1 ppb의 수증기가 64 Mb DRAM 제조에 영향을 줄 수 있다는 것이 보고된 바 있다. (중략)

Keywords