Fabrication of Waveguide Photodiode

도파로형 광검출기의 제작

  • 전병옥 (삼성전자 T/N 총괄 통신연구소 광전자랩) ;
  • 양승기 (삼성전자 T/N 총괄 통신연구소 광전자) ;
  • 강화영 (삼성전자 T/N 총괄 통신연구소 광전자) ;
  • 이도영 (삼성전자 T/N 총괄 통신연구소 광전자) ;
  • 범진욱 (서강대학교 전자공학) ;
  • 황성민 (한양대향교 전자통신공학과)
  • Published : 2003.07.01

Abstract

광통신 분야에서 장파장 p-i-n 광 검출기는. 현재와 미래의 양자 회로 설계나 통신, 측정 시스템에 핵심 부품으로 인정 받아왔다. 특히, 소자의 측면에서 입사되어 오는 광 신호를 검출하여 전기신호로 바꾸어주는 구조의 검출기는 빠른 속도로 신호를 처리하면서도 높은 감도를 가질 수 있어 큰 관심의 대상이 되어 왔다. 그러나 이와 같은 훌륭한 성능에도 불구하고, 소자 제작의 어려움과 낮은 신뢰성 등은 소자의 유용성에 의심을 가지게 하는 역할을 하였다. (중략)

Keywords