Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Study of electrostatic electron lens

정전기 전자 렌즈의 특성연구

  • 김영철 (선문대학교 신소재과학과／차세대 반도체 기술연구소) ;
  • 김대욱 (선문대학교 신소재과학과／차세대 반도체 기술연구) ;
  • 안승준 (선문대학교 신소재과학과／차세대 반도체 기술연구) ;
  • 김호섭 (선문대학교 신소재과학과／차세대 반도체 기술연구소)
  • Published : 2003.02.01
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Abstract

광학 렌즈가 빛의 경로에 영향을 주는 것처럼 전자 렌즈는 전자들의 궤적에 영향을 준다. 광학 렌즈의 효과와 전자 렌즈의 효과는 유사성이 매우 높으며 광학에서 사용하는 용어를 전자광학에서 그대로 쓸 뿐만이 아니라 이미 잘 알려져 있는 광학 렌즈에 대한 원리를 전자렌즈 연구에 활용하고 있다. 이러한 유사성에도 불구하고 빛과 전자 그리고 광학 렌즈와 전자 렌즈 사이에는 근본적으로 다른 점이 있기 때문에 전자 렌즈에 대한 체계적인 연구가 요구되고 있다. (중략)

Keywords