Proceedings of the IEEK Conference (대한전자공학회:학술대회논문집)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

Design of Controller Using the Piezo Actuator

피에죠 엑츄에이터를 이용한 나노 구동 제어기 설계

  • 유상훈 (한양대학교 전자통신전파공학과) ;
  • 이충우 (한양대학교 전자통신전파공학과) ;
  • 서상민 (한양대학교 전자통신전파공학과) ;
  • 정정주 (한양대학교 전자통신전파공학과) ;
  • 김대용 (한국전자통신연구원 반도체원천기술연구소)
  • Published : 2003.07.01
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Abstract

본 논문에서는 Sub-nano 수준의 위치정밀도와 분해능을 갖는 Piezo actuator 의 제어기 설계를 목적으로 하였다. 이산 시간 상태 공간에서의 Piezo actuator를 이용한 1 축 스테이지 드라이브 시스템 SISO 제어기를 설계하였다. Piezo actuator 의 소재 자체의 특성으로는 Hysteresis 가 있으며, 이는 정상상태에서 Piezo actuator 의 위치 오차를 발생하는 주요 원인이 된다. 제어기의 설계는 극점 배치 방법을 기본으로 하여 Hysteresis 에 대한 보상을 목적으로 적분제어방식과 외란 추정기를 각각 적용하였다. 모의실험을 통하여 제어기의 설계 및 시뮬레이션 하였으며, Hysteresis 에 대한 보상이 이루어짐을 보았고, 실험을 통하여 이를 증명하였다.

Keywords