Proceedings of the IEEK Conference (대한전자공학회:학술대회논문집)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

The Study of Pentacene Thin Film Growth by Organic Physical Vapor Depositon System

OTFT에 대한 OPVD시스템 적용에 대한 연구

  • 이명원 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 김광현 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 허영헌 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 김강대 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 송정근 (동아대학교 전기전자컴퓨터공학과) ;
  • 황성범 (경남정보대학교) ;
  • 김용규 (거창기능대학교)
  • Published : 2003.07.01
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Abstract

본 논문에서는 OPVD시스템을 이용하여 펜타센 박막을 형성하였고 소자제작을 통해 그 특성을 평가 하였다. OPVD시스템을 이용하여 제작된 OTFT의 이동도는 0.01㎠/V·sec로써 기존의 OMBD로 제작된 OTFT보다 약 10배 정도 향상된 값을 나타냈으며, SS는 2.5Ion/off ratio 는 10⁴, 누설전류는 100pA 였다. 이러한 OPVD시스템에 의한 방법은 대면적 성막이 가능할 뿐 만 아니라 형성된 박막의 결정도 또한 기존의 OMBD방법으로 형성된 박막보다 월등하였다.

Keywords