한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

미소소자를 위한 저응착 박막

Low Adhesion materials for micro-devices

  • 조정래 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 나종주 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 권식철 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 이구현 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 남기석 (한국기계연구원 표면연구부) ;
  • 장영준 (한국기계연구원 표면연구부)
  • 발행 : 2003.10.01
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