Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

2003.10a
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Pages.89-90
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2003

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

Preparation of RF-magnetron sputtered silicon nitride thin film

RF-mgnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 (인하대학교 화학교육과) ;
이상운 (명지대학교 화학과) ;
신재혁 (기술표준원) ;
박정일 (기술표준원)

Published : 2003.10.01

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