한국공작기계학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference)

한국생산제조학회 (The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers)
권호 표지

초음파현미경에서 V(z)곡선의 시뮬레이션

Simulation of V(z) curve at the Acoustic Microscope

  • 박익근 (서울산업대학교 기계공학과) ;
  • 임재생 (서울산업대학교 산업대학원 기계공학과) ;
  • 윤종학 (서울산업대학교 기계공학과) ;
  • 노승남 (서울산업대학교 기계공학과) ;
  • 서성원 (서울산업대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2003.10.01
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초록

본 연구에서는 초음파현미경의 기하학적 원리와 초음파현미경의 특징중 하나인 V(z)곡선의 간섭파형을 시뮬레이션 하였고, 실제 초음파현미경의 V(z)곡선법을 이용하여 미소영역에서의 누설탄성표면파 음속을 측정하였다. 초음파현미경을 이용한 V(z)곡선법의 음속측정결과가 시뮬레이션 음속값과 큰차이를 보이지 않으므로 미소영역에 초음파현미경의 V(z)곡선법을 적용하여 초음파의 음속측정이 가능함을 확인하였다. 이는 향후 초음파현미경을 이용하여 미세한 재료의 물성평가에 적용할 수 있을 것으로 기대된다.

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