Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2003.11a
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- Pages.166-166
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- 2003
Growth of epitaxial CoSi$_2$ using Co-O-N films deposited by metallorganic chemical vapor deposition
금속유기화학기상증착법으로 증착된 Co-O-N 박막을 이용한 CoSi$_2$ 에피층 성장
Abstract
Si (100) 기판위에서 에피텍셜하게 자란 CoSi
Keywords