Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2003.11a
- /
- Pages.123-123
- /
- 2003
The novel Fabrication method of the metal oxide nanotube on template using atomic layer deposition
템플레이트에서 원자층 증착기술을 이용한 금속산화물 나노튜브의 제작방법
Abstract
나노튜브는 반도체 재료로서 뿐만 아니라 다른 분야로까지 다양한 응용범위를 가진 물질로서 기존에는 주의 탄소를 사용하여 제작, 사용되어지고 있으나 게이트옥사이드(Gate Oxide) 물질인 지르코니아(ZrO
Keywords